装置紹介
半導体装置
当社で設計/製造しました装置です。
お客様のニーズに応じられるよう、設計/製造いたします。
酸エッチング装置
酸エッチング装置
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本装置は特殊バレルを用いてシリコンウェハーの酸エッチング処理を行う装置です。 |
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特殊バレルの搬送は薬液処理槽（装置奥側）から水洗処理槽（装置手前側）へ自動搬送されます。 25枚から100枚までのウェハーを一度にエッチング処理する事が可能です。 |
アルカリエッチング装置
アルカリエッチング装置
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本装置は特殊バレルを用いてシリコンウェハーのアルカリエッチング処理を行う装置です。 |
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特殊バレルの搬送は薬液処理槽（装置奥側）から水洗処理槽（装置手前側）へ自動搬送されます。 少ロット生産向け（写真装置）から多ロット生産向けまでご要望に応じ、製作いたします。 |
自動洗浄処理装置（バッチタイプ）
自動洗浄処理装置（バッチタイプ）
本装置は、シリコンウェハーをロボットにより搬送し自動洗浄処理を行う装置です。
ウェハーカセットごと洗浄処理を行います。
薬液槽と水洗槽等の組み合わせにて多岐に渡る洗浄工程を実現できます。
自動洗浄処理装置（枚葉タイプ）
自動洗浄処理装置（枚葉タイプ）
本装置は、シリコンウェハーをロボットにより搬送し自動洗浄処理を行う装置です。
ウェハーを1枚づつ搬送し、洗浄処理を行います。
使用する薬液と処理パターンにより多岐に渡る洗浄工程を実現できます。
大型機種（写真左）の装置から小型機種（写真右）と多様な種類があります。
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