酸エッチング装置詳細情報
装置本体 装置内部 専用バレル
本体詳細
- 処理可能ウェハーサイズ：Φ100～Φ200mm（当社製造実績）
- 専用バレルでのエッチング処理を行います。（ウエハーサイズによりバレルを交換します）
- エッチング処理後、純水洗浄（QDR）への高速搬送（約1.5sec）が可能。
- エッチング処理槽にN2バブリング標準装備。
- 作業者への安全対策として、装置正面扉にインターロック標準装備。
- 停電対策標準装備しています。
（エッチング中停電が発生した場合エッチング処理を中断し緊急純水洗浄を行います） - 薬液温度は、間接加熱水/冷却水による温度制御可能です。また、大型バッファタンクにて処理中の温度変化を極力抑える構造となっております。
薬液供給ユニット 恒温槽 薬液秤量タンク
薬液供給ユニット詳細
- 薬液間接加熱用温水タンク装備。（冷却用はお客様設備による冷却水使用）
- 最大3種類の薬液を混合可能。（各薬液用秤量タンクを装備）
また、薬液ライフサイクルを延長する為の補給も設定が可能。 - お客様にて、調合済みの薬液供給設備をお持ちの場合、直接供給に対応可能。
- 工場側薬液供給システムへの接続用信号を標準装備。（各薬液要求用有接点信号）
その他
- 制御方式：PLC制御 使用機器メーカー：OMRON（ご指定のPLCでの製作対応可能）
- 操作方式：タッチパネル 使用機器メーカー：デジタル（ご指定のタッチパネルでの製作対応可能）
- 搬送方式：エアーシリンダー駆動
