自動洗浄装置詳細情報（枚葉タイプ）
- 自動洗浄装置
大型装置本体 小型装置本体 DIP型装置本体
スライド搬送 縦型搬送 DIP機搬送
スピン洗浄 ブラシ洗浄（横型） アンローディング
本体詳細
- 本装置は、ウェハーをロボットにより搬送し自動洗浄処理を行う装置です。
- ウェハー1枚づつ洗浄処理を行います。
- スピン洗浄タイプ、DIP（浸漬）タイプ、ブラシ洗浄タイプ等、お客様の仕様に応じて製作いたします。
- 薬液ユニットやスピン洗浄ユニットの組み合わせにて多岐に渡る洗浄工程を実現できます。
- 装置内構成例：ローディング→薬液シャワー→ブラシ洗浄→スピン洗浄→アンローディング
使用する薬品および各処理方法等はお客様の仕様に応じて製作いたします。 - 処理可能ウェハーサイズ：Φ100~Φ300mm各サイズ専用洗浄機となっております。 Φ100~Φ200mmまでの洗浄機では、搬送ロボットチャック、スピンテーブル等の変更により1台の装置で
多品種（ウエハーサイズ）洗浄できるタイプもございます。（スピン洗浄タイプ） - 作業者への安全対策として、装置扉にインターロック標準装備。
- 工場側薬液供給システムへの接続用信号を標準装備。
（薬液要求用有接点信号） - 装置独自の薬液供給ユニットも装備する事が可能です。
- 洗浄時間（レシピ）は薬液ユニット、ブラシ洗浄ユニット、スピン洗浄ユニットごとに設定でき、10種類
（1パターン20ステップ）登録する事ができます。（標準仕様）
その他
- 制御方式：PLC制御 使用機器メーカー：三菱（ご指定のPLCでの製作対応可能）
- 操作方式：タッチパネル 使用機器メーカー：デジタル（ご指定のタッチパネルでの製作対応可能）
- 搬送方式：ACサーボモータ駆動
