アルカリエッチング装置詳細情報

 

 　　

                           装置本体                                  専用バレル                        自動バレルリターン機構

　　　 　　　

                         エッチング槽                                          QDR槽                                    温水槽

本体詳細

  • 本装置は多ロット生産向けの装置です。
    装置内構成：ローダ→エッチング槽→QDR槽→温水槽1→温水槽2→アンローダ
  • 処理可能ウェハーサイズ：Φ300mm（当社製造実績） 多ロット生産向け1サイズ専用機となっております。
    （他サイズに付きましても製作可能です）     　
  • ローディング部とアンローディング部が専用となり、カセットからバレル(ローダ部)へ、またバレルから
    カセット(アンローダ部    )へ自動移載いたします。
  • 専用バレルは装置内にてアンローダからローダへ自動リターンいたします。
  • 専用バレルは最大4個搭載でき、連続処理が可能となっております。
    メモリ操作により、装置搭載バレル数を変更する事が可能です。(1個～4個まで）
  • 薬液処理槽、QDR洗浄槽共にウェハー回転機構があり、均一な処理を行うことができます。
  • 温水による洗浄+乾燥を行うことが可能となっております。
    （乾燥速度によって乾燥状態は違います）
  • 作業者への安全対策として、装置扉にインターロック標準装備。 
  • 工場側薬液供給システムへの接続用信号を標準装備しています。
    （薬液要求用有接点信号）

その他

  • 制御方式：PLC制御　使用機器メーカー：三菱（ご指定のPLCでの製作対応可能）
  • 操作方式：タッチパネル　使用機器メーカー：デジタル（ご指定のタッチパネルでの製作対応可能）
  • 搬送方式：ACサーボモータ駆動　

少ロット向けアルカリエッチング装置

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