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半導体洗浄装置 |
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| 特徴 |
・洗浄対象物に適した洗浄工程、装置が多岐に渡り可能 |
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| ・省エネルギー、省スペース対応 |
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| ・前、後工程に合わせた搬送機構が選択出来る |
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| ・使用薬液に対応した装置の提供が出来る |
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| ・クリーン搬送、クリーン環境の保持 |
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スピンエッチング装置 |
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| 特徴 |
・洗浄対象物に適した洗浄工程、装置が多岐に渡り可能 |
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| ・省エネルギー、省スペース対応 |
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| ・使用工程に合わせた回転数の設定可能 |
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| ・使用薬液に対応した安全対策が可能 |
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| ・クリーン搬送、クリーン環境の保持 |
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・裏面への液体廻り込み対策可能 |
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目視検査装置 |
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| 特徴 |
・焦点距離の長い広視野ズームＣＣＤを搭載し、６インチ液晶 |
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| カラーモニターＷＰ標準装備とする |
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| ・回転式に比べ位置ズレが無くカラーモニター仕様の為、観察し易い |
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| ・低価格、高精度、短納期を第一に考え、ユーザーニーズにマッチ |
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| した製品で有る |
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ＳＩ電極エッチング装置 |
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| 特徴 |
・洗浄対象物に適した洗浄工程、装置が多岐に渡り可能 |
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| ・省エネルギー、省スペース対応 |
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| ・回転機構付治具により均一なエッチングが出来る |
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| ・薬液供給装置で各種の薬液の正確な混合液の提供が出来る |
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| ・クリーン搬送、クリーン環境の保持 |
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ダミーウェハ洗浄装置 |
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| 特徴 |
・洗浄対象物に適した洗浄工程、装置が多岐に渡り可能 |
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| ・省エネルギー、省スペース対応 |
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| ・使用工程に合わせた回転数の設定可能 |
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| ・使用薬液に対応した安全対策が可能 |
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| ・クリーン搬送、クリーン環境の保持 |
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液晶パネル洗浄装置 |
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| 特徴 |
・洗浄対象物に適した洗浄工程、装置が多岐に渡り可能 |
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| ・省エネルギー、省スペース対応 |
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| ・前、後工程に合わせた搬送機構が選択出来る |
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| ・使用薬液に対応した装置の提供が出来る |
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薬液供給装置 |
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| 特徴 |
・洗浄装置に多種の薬液を精密に供給、回収可能な装置の提供 |
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| ・省エネルギー、省スペース対応 |
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| ・クリーン搬送、クリーン環境の保持 |
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| ・液漏れ対策付 |
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空調省エネシステム |
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| 特徴 |
・ラインとオフィスなどの熱負荷や外気の変化に応じ、空調トータルの |
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| エネルギー損失を最小 |
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| ・現状の空調システムの最適化省エネ運転が可能 |
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| ・全空調システムを約8％〜15％節約可能 |
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| ・経済的で実用的な省エネ設備 |
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