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 特徴 |
・洗浄対象物に適した洗浄工程、装置が多岐に渡り可能 |
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| ・省エネルギー、省スペース対応 | ||
| ・使用工程に合わせた回転数の設定可能 |
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| ・使用薬液に対応した安全対策が可能 | ||
| ・クリーン搬送、クリーン環境の保持 | ||
| ・裏面への液体廻り込み対策可能 | ||
| 適応分野 |
・半導体 ・マスク | |
| ・液晶ガラス ・ＦＥＤパネル | ||
| 搬送機構 |
・カセットＴＯカセット ・１枚毎手動セット | |
| 洗浄機構 |
・メガソニック ・純水スプレー |
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| ・オゾン水、イオン水 ・２流体シャワー |
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| 使用液 |
・酸 ・アルカリ ・純水 | |