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 特徴 |
・洗浄対象物に適した洗浄工程、装置が多岐に渡り可能 | |
| ・省エネルギー、省スペース対応 | ||
| ・前、後工程に合わせた搬送機構が選択出来る | ||
| ・使用薬液に対応した装置の提供が出来る |
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| 適応分野 |
・受入洗浄 ・カラーフイルター洗浄 ・成膜前洗浄 | |
| ・カセット洗浄 ・レジスト剥離 ・マスク洗浄 | ||
| ・ＰＩ前洗浄 ・素ガラス ・ラビング後洗浄 | ||
| ・封止後洗浄 | ||
| 搬送構成 |
・枚葉 ・バッチ | |
| 洗浄機構 |
・超音波 ・ ブラシ ・メガソニック ・ＩＰＡシャワー | |
| ・高圧シャワー ・オゾン水 ・イオン水 | ||
| ・２流体シャワー ・クィックダンプ | ||
| 乾燥機構 |
・エアーナイフ ・スピン | |
| ・ＩＰＡ蒸気 ・ＩＲ炉 | ||