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 特徴 |
・洗浄対象物に適した洗浄工程、装置が多岐に渡り可能 | |
| ・省エネルギー、省スペース対応 | ||
| ・使用工程に合わせた回転数の設定可能 |
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| ・使用薬液に対応した安全対策が可能 | ||
| ・クリーン搬送、クリーン環境の保持 | ||
| 適応分野 |
・φ８からφ１２ Ｓｉダミーウェハ | |
| 搬送構成 |
・カセットＴＯカセット |
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| 洗浄機構 |
・メガソニック ・純水スプレー ・２流体シャワー |
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| 使用液 |
・酸 ・アルカリ |
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| ・純水 ・オゾン水、イオン水 | ||