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 特徴 |
・洗浄対象物に適した洗浄工程、装置が多岐に渡り可能 | |
| ・省エネルギー、省スペース対応 | ||
| ・回転機構付治具により均一なエッチングが出来る | ||
| ・薬液供給装置で各種の薬液の正確な混合液の提供が出来る | ||
| ・クリーン搬送、クリーン環境の保持 | ||
| 装置構成 |
・エッチング装置本体 ・操作盤 ・搬送ロボット | |
| ・薬液回収タンク ・薬液供給装置 ・エッチング回収治具 | ||
| 対象物 |
・Ｓｉ電極 大きさ ２８０丸×１０Ｔ〜３７６丸×１０Ｔ | |
| 装置サイズ |
・約(W)２０００mm×(D)１６００mm×(H)２３００mm | |
| 搬送構成 |
・自動搬送方式 | |
| 槽構成（２槽） |
・薬液処理槽 … 加熱ヒータ、バブリング機構、薬液循環、フィルタ付 | |
| ・純水 … クィックダンプ機構、シャワー | ||
| 薬液供給装置 |
・３液混合したタンクからポンプによる供給 | |